Wafer 靜電
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IC晶片拾取時發生靜電破壞
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切割膠帶與IC晶片會發生剝離帶電，且在拾取時電位大幅上升。如此一來會對周圍的夾具及其他晶片造成靜電放電，導致靜電破壞。 切割：在晶圓上切割IC晶片的 ...
Wafer Single Tray (ESD)單片晶圓盒 單 ...
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Wafer Single Tray 抗靜電單片晶圓盒/ 單片出貨盒/ 單片晶舟承載盒/ 單片盒/ 傳送盒/ 晶圓載具是半導體矽片包裝解決方案，用於存放單片晶圓，可保護高單價晶圓， ...
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
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吸附後，可共同進入加工程序。 □ 主要應用. ①薄化硅片Thin Wafer_4,6,8,12 inch。翹曲硅片Warp Wafer。
半導體、液晶
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半導體、液晶 · 晶圓測試時的靜電對策 · 剝離晶圓保護膜時的靜電消除 · 黏晶時的靜電對策 · IC 測試分類機中的ESD 對策和保證 · 消除液晶玻璃堆高搬運時的靜電 · 消除空氣浴塵室 ...
半導體使用的靜電吸盤
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近年來隨著數位化的發展，半導體已成為大家生活中的一部分，創造科學所開發的靜電吸盤不只在半導體業界，其他如薄膜、蝕刻、離子植入、wafer檢查等等，屬於半導體 ...
多物理仿真應用於靜電吸盤之晶圓熱傳分析
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靜電吸盤上的背部冷卻於晶圓溫度及均勻度上扮演著關鍵的角色。本文並顯示出氦氣相較於其它鈍性氣體展現出一最佳的熱傳遞效果，與壓力呈線性關係且在製程中易受環境的變動， ...
電極電壓對靜電式晶圓座(ESC)晶圓釋放的影響研究
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但靜電式晶圓座在作用時，因為會施加一高電極電壓來使晶圓表面產生靜電電荷，來達到將晶圓以靜電吸附在腔體內晶圓載具上的作用，而在製程完畢，靜電式晶圓座電極電壓關閉後 ...
靜電吸盤Electrostatic Chuck
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